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电工基础知识 数控机床机械故障装调维修中怎样应用激光干涉仪？
(1)主要功能激光干涉仪可对机床各种定位装置进行高精度的校正，可完成各种参数的测量，如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平行度及平面度等。最大检测长度可达60m，最小分辩精度为0.08 ym，最大位移速度为300mm/s，检测精度为5×10'7L（L-被测件长度）。一些激光干涉仪还具有选择功能，如数控系统的自动螺距补偿、机床动态特性测量、回转坐标分度精度标定、触发脉冲输入输出功能等。
(2)激光干涉仪的组成与原理激光干涉仪外形如图3 -6a所示，双频激光干涉仪原理如图3-6b所示。仪器采用分开式结构，以减少热辐射、振动等有害因素的影响，通常由三个独立部件组成。
①激光发射和信号接受转换部分：由激光器、光电转换元件、光路转换元件组成。
②干涉系统：由分光镜、固定的直角参考镜、光路转折元件组成。
③反射靶及瞄准系统：由反射靶的可动棱镜、工作台的瞄准装置等组成。
(3)检测补偿功能应用
①自动螺距误差补偿。在使用激光干涉仪自动测量机器位置精度的基础上，通过RS232接口使计算机和数控系统实现通信，对检测到的误差进行自动补偿。仪器能最大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到最佳精度状态。
②回转坐标精度标定。回转坐标分度精度标定可对数控转台、数控分度头等分度装置在任意角度位置，以任意测量间隔进行全自动测量补偿，补偿精度可达±1”。
③机床动态特性测试与评估。使用动态测试与软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析，滚动丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，用以帮助维修人员进行故障源的分析。
④双驱动同步校准。应用双轴校准软件，可在一台计算机上连接并控制两个接口卡，同步采集龙门铣床等大型龙门移动数控机器的单轴双驱动和双反馈系统平行轴数据。
⑤多用户接口装置。应用特殊接口软件和校准软件，可通过接口装置使用某些品牌的电子水平仪等，实现直线度、平面度、垂直度等几何精度的检测。
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