硫化氢传感器的工作原理是什么?
硫化氢传感器(见图2-19)由两片薄片组成: .片足加热片,另一片是对硫化氢气体敏感的气敏片。两片薄片都以真空镀膜的方式安装在一个硅芯片上。加热片将气敏片的工作温度提升到能对硫化氢气体反应的水平。气敏片上有金属氧化物,l1J‘动态地显示硫化氢气体浓度的变化。其敏感性可从十亿分之一到百分之一。
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