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电工技术基础 磁敏传感器的工作原理有哪些？
磁敏传感器，顾名思义就是感知磁性物体的存在或者磁性强度（在有效范围内）。这些磁性材料除永磁体外，还包括顺磁（铁、钴、镍及其合金）当然也可包括感知通电（直、交）线包或导线周围的磁场。
(1)电感线圈
传统的磁检测中首先采用电感线圈为敏感元件。特点是无须在线圈中通电，一般仅对运动中的永磁体或电流载体起敏感作用，后来发展为用线圈组成振荡槽路，如探雷器、金属异物探测器、测磁通的磁通计等。
(2)霍尔传感器
霍尔传感器是依据霍尔效应制成的器件。
霍尔效应：通电的载体在受到垂直于载体平面的外磁场作用时，载流予受到洛伦兹力的作用，并有向两边聚集的倾向，由于自由电子的聚集（一边多一边必然少）从而形成电势差，在经过特殊工艺制备的半导体材料时这种效应更为显著，从而形成了霍尔元件。早期的霍尔效应材料如Insb（锑化铟）。为增强对磁场的敏感度，在材料方面III-V半导体都有所应用。近年来，除InSb之外，有硅衬底的，也有砷化镓的。霍尔器件由于其工作机理的原因都制成全桥路器件，其内阻大约都在150～500Q之间。对线性传感器工作电流大约为2～lOmA，一般采用恒流供电法。
InSb与硅衬底霍尔器件典型工作电流为lOmA，而砷化镓典型工作电流为2mA。作为低弱磁场测量，我们希望传感器自身所需的工作电流越低越好。因为电源周围即有磁场，就不同程度引进误差。另外，目前的传感器对温度很敏感，通过的电流大了，有一个自身加热问题，温升会造成传感器的零漂。这些方面除外附补偿电路外，在材料方面也在不断地进行改进。
霍尔传感器主要有两大类，一类为开关型器件，一类为线性霍尔器件，从结构形式（品种）及用量、产量看前者大于后者。霍尔器件的响应速度大约在lus量级。
(3)磁阻传感器
磁阻传感器是继霍尔传感器后派生出的另一种磁敏传感器。采用的半导体材料与霍尔器件大体相同。但这种传感器对磁场的作用机理不同，传感器内载流子运动方向与被检磁场在同一平面内。顺便提醒．点，霍尔效应与磁阻效应是并存的。在制造霍尔器件时应努力减少磁阻效应的影响，而制造磁阻器件时应努力避免霍尔效应（在计算公式中，互为非线性项）。在磁阻器件应用中，温度漂移的控制也是主要矛盾，在器件制备方面，磁阻器件由于与霍尔器件不同，因此早期的产品为单只磁敏电阻。由于温度漂移大，现在多制成单臂（两只磁敏电阻串联），主要是为补偿温度漂移。目前也有全桥产品，但用法（日的）与霍尔器件略有差异。据报道磁阻器件的响应速度同霍尔器件，为llrs量级。
磁阻传感器由于工作机理不同于霍尔传感器，因而供电也不同，它采用恒压源（但也需要一定的电流）供电，因后续电路不同对供电电源的稳定性及内部噪声的要求也有所不同。
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