在物联网技术的促进下，气体传感器的运用日益普遍，慢慢向微型化、一体化、模块化设计、智能化系统角度发展趋势。在其中，具备象征性的根据氢氧化物半导体材料比较敏感原材料的气体传感器已广泛运用于安全性、自然环境、楼宇控制等行业的可燃气体检测。

MEMS技术性的发展，为这汽体感应器的一体化给予了稳固的基本，不容置疑，根据MEMS的设计将变成将来气体传感器的具体发展前景之一。

现阶段，销售市场内以光伏电池原材料为衬底，非光伏材料为比较敏感层的MEMS气体传感器更为普遍，今日就给我们介绍一下销售市场上常用的MEMS气体传感器种类。

MEMS氧化还原电位型气敏感应器的敏感性原材料是金属材料空气氧化物半导体材料或导电聚合物，应用数最多的氧化物半导体材料是二氧化锡，次之是二氧化钛、活性氧化锌等。为提升气敏感应器敏感度和可选择性，通常会向氢氧化物中添加金属催化剂，如铂、钯等贵重金属或适宜的氢氧化物。

当比较敏感原材料曝露于被测汽体中，汽体会与他们产生反映，造成导电率或电阻器率的转变，造成的电子信号历经信号分析后，輸出为可鉴别汽体成份或汽体含量的数据信号。

MEMS氢氧化物半导体材料气敏感应器选用电子信息技术的涂膜加工工艺在硅衬底上淀积氢氧化物比较敏感层，运用比较敏感层下的电阻器做电加热器，运用二极管做温度测量元器件，必需的数据信号电源电路和读取电源电路还可以集成化在同一硅集成ic上。

MEMS微气体传感器的加工工艺如下图所示，其特性取决于将加温电级、电缆护套和检测电级一层一层先后沉积累加在一起。

固态电解质溶液气敏感应器有电流量型和工作电压型二种，电流量型的精确度高，精确测量范畴大，温漂小。但它的输入输出电流量和敏感度能与电级规格密切相关。传统式的煅烧身型元器件难以操纵电级规格，因此輸出的工作电流和敏感度能也难以操纵。因为MEMS技术性制造的元器件电动机规格高精度，因此MEMS固态电解质溶液电流量型气敏感应器特性出色。

现阶段根据“三明治”构造的感应器，能够完成MEMS加工工艺的兼容与生产加工，解决了传统式固态电解质溶液式气体传感器加工工艺兼容模式差、元器件构造繁琐等难题。

（1）小型化：MEMS元器件体型小，一般单独MEMS感应器的规格以mm乃至μm为数量单位，重量较轻、能耗低。与此同时小型化之后的机械设备构件具有惯性小、串联谐振高、响应速度短等优势。MEMS高些的表层容积比（面积比体积）能够增强表层感应器的敏锐水平。

（2）硅基制作工艺，可兼容传统式IC生产工艺流程：硅的抗压强度、强度和杨氏模量与铁非常，相对密度相近铝，热传导率贴近钼和钨，与此同时能够较大水平上兼容硅基制作工艺。

（3）大批量生产：以单独5mm×5mm规格的MEMS感应器为例子，用硅微制作工艺在一片8英尺的单晶硅片晶元上可与此同时激光切割出大概1000个MEMS集成ic，大批量生产可大幅度降低单独MEMS的产品成本。

（4）一体化：一般来说，单珠MEMS通常在封裝机械设备感应器的与此同时，还会继续集成化ASIC集成ic，操纵MEMS集成ic及其变换模拟量输入为数据量輸出。与此同时不一样的封裝加工工艺能够把不一样作用、不一样比较敏感方位或致动方位的众多感应器或电动执行机构集成化于一体，或产生微感应器列阵、微电动执行机构列阵，乃至把多种多样功能性的元器件集成化在一起，产生繁杂的微系统。

（5）多学科交叉：MEMS涉及到电子器件、机械设备、原材料、生产制造、信息内容与自动控制系统、物理学、有机化学和微生物等各种课程，并聚合了现如今科技进步进步的很多顶尖成效。
责编人：CC

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