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光栅位移传感器的组成结构

2022-01-08 08:13分类:传感器 阅读:

 

  位移测量是线位移测量和角速度精确测量的统称,位移测量在机电一体化生产制造体系中运用十分普遍。一般角位移传感器关键有:电感器感应器、电容传感器、感应同步器、光栅传感器、磁栅感应器、旋转变压器和光学编号盘等。在其中,旋转变压器和光学编号盘只有检测角速度,其他几类感应器不仅有直线式角位移传感器又有视角型角位移传感器。

  光栅尺角位移传感器

  光栅尺是一种新式的偏移检验元器件,是一种将机械设备偏移或模拟量输入变化为数据脉冲信号的检测设备。它的特征是精确测量精准度高(可以达到±1μm)、响应时间快、测量范围范畴大、可开展非接触测量等。其容易完成数据精确测量和自动控制系统,普遍用以数控车床和高精密精确测量中。

  光栅尺的结构

  说白了光栅尺便是在通透的玻璃上,匀称地雕出很多明暗交界线两色的花纹,或在金属材料镜面玻璃上匀称地划到很多间距相同的花纹,一般 线框的空隙和总宽是相同的。以透光性的玻璃窗为媒介的称之为散射光栅尺,不透的金属材料为媒介的称之为反射光栅;依据光栅尺的外表可分成平行线光栅尺和圆光栅尺。

  光栅尺角位移传感器的构造如下图所示。它主要是由尺标光栅尺、标示光栅尺、半导体材料和灯源等构成。一般,尺标光栅尺和被测物品相接,随被测物件的垂直偏移而造成偏移。一般尺标光栅尺和标示光栅尺的刻度相对密度是同样的,而刻度中间的间距W称之为栅距。光栅尺花纹相对密度一般为每mm25、50、100、250条等。

光栅位移传感器的组成结构

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