MEMS全称之为小型电子器件机械设备系统软件（Micro-Electro-MechanicalSystem），是在电子信息技术（半导体设备技术性）基本上发展壮大起來，结合了微电子产品加工加工工艺和精密的机器设备生产加工等工艺制造的毫米级机械制造元器件，涉及到微电子技术、机械设备、原材料、结构力学、有机化学、分子生物学等许多课程行业。

　　MEMS被普遍用以感应器行业，普遍的设备包含MEMS加速度传感器、MEMS话筒、微电机、微泵、微振子、MEMS液位传感器、MEMS手机陀螺仪、MEMS湿度测量仪及其两者的集成化商品，广泛运用于消费电子产品、车辆、诊疗、工业生产、通讯、国防安全和航天航空等行业。

　　MEMS感应器结构类型关键由微型传感器、微电子技术控制板、电动执行机构和开关电源构成。

　　大家日常触碰较多的消費电子设备中，MEMS感应器正被普遍的运用。一个智能机中的MEMS感应器就会有声学材料、电子光学、自然环境、健身运动、通讯、安全性和互动等，这种感应器促使电子产品更具有交互性和智能化系统。

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