压阻式感应器的构造

这类感应器使用集成化加工工艺将电阻器条集成化在光伏电池脉冲阻尼器上，做成硅压阻集成ic，并将此集成ic的周围固定不动封裝于机壳以内，引出来电级导线。压阻式液位传感器又称之为固体液位传感器，它有别于黏贴式应变计需根据延展性光敏电阻器间接性体会外力作用，只是立即根据硅脉冲阻尼器体会被测压力的。?

硅脉冲阻尼器的一面是与被测压力连接的髙压腔，另一面是与空气相通的底压腔。硅脉冲阻尼器一般设计方案成附近固支的环形，直徑与薄厚比约为20～60。在环形硅脉冲阻尼器定域蔓延4条P残渣电阻器条，并接满足桥，在其中两根坐落于压地应力区，另两根处在拉应力区，相对性于脉冲阻尼器轴对称。

除此之外，也是有选用正方形硅脉冲阻尼器和硅柱状光敏电阻器的。硅柱状光敏电阻器也是在硅面层某一晶向的一定方位上蔓延制做电阻器条，两根受拉应力的电阻器条与另两根受力地应力的电阻器条组成全桥。?压阻式感应器是依据半导体器件的压阻效用在半导体器件的硅片上经蔓延电阻器而制作的元器件。

其硅片可立即做为精确测量感测器元器件，蔓延电阻器在硅片内接成电桥电路方式。?

当硅片遭受外力而发生变形时，各阻值将产生变化，电桥电路便会发生对应的不平衡輸出。?作为压阻式感应器的硅片（或称脉冲阻尼器）原材料主要是为单晶硅片和锗片，单晶硅片为比较敏感?原材料而制作的硅压阻感应器愈来愈得到大家的高度重视，尤其是以精确测量工作压力和效率的固体压阻式感应器使用较为广泛。?

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