MEMS液位传感器又被称为机油压力感应器，在日常日常生活也是有广泛的运用，那麼MEMS液位传感器到底是怎么开展作业的呢？商品有什么特性？下边工业自动化我来给我们介绍一下MEMS液位传感器的原理及特性。期待对各位有一定的协助！

MEMS工作压力感应器（Micro Electromechanical System，即微电子技术机械设备系统软件）就是指集微型传感器、电动执行机构及其信号分析和操纵电源电路、插口电源电路、通讯和开关电源于一体的微型计算机电系统软件。

MEMS液位传感器的原理

现阶段的MEMS液位传感器有硅压阻式液位传感器和硅电容器式液位传感器，二者全是在硅块上形成的微机械自动化感应器。

硅压阻式液位传感器是选用精密加工半导体材料电阻器电阻应变片构成惠斯顿电桥电路做为力电转换精确测量电源电路的，具备较高的测量精度、较低的功能损耗和非常低的成本费。惠斯顿电桥电路的压阻式感应器，如无工作压力转变，其导出为零，几乎不耗电量。

MEMS硅压阻式液位传感器选用附近固定不动的环形地应力杯硅塑料薄膜内腔，选用MEMS技术性可以直接将四个精密加工半导体材料应变力一会儿制在其表层地应力较大处，构成惠斯顿精确测量电桥电路，做为力电转换精确测量电源电路，将工作压力这一标量立即转换成用电量，其测量精度能达0.01-0.03%FS。

电容传感器液位传感器运用MEMS技术性在硅块上生产制造出横格珊状，左右二根横格珊变成 一组电容传感器液位传感器，上横格珊受工作压力功效往下偏移，更改了左右二根横格珊的间隔，也就更改了板间容量的尺寸，即△工作压力=△容量。

MEMS液位传感器的特性

MEMS液位传感器可以用相近集成电路芯片的制定工艺和生产加工工艺，开展高精密、成本低的批量生产，进而为消费电子产品和工业生产过程管理商品用廉价的成本费很多应用MEMS感应器开启一扇门，使工作压力操纵越来越简易、实用和智能化系统。

传统式的机械设备量压测力传感器是根据金属材料弹性体材料承受力形变，由机械设备量弹性变形到用电量变换輸出，因而它不太可能如MEMS液位传感器那般，像集成电路芯片那麼细微，并且费用也远远地高过MEMS液位传感器。

相对性于传统式的机械设备量感应器，MEMS液位传感器的规格更小，较大的不超过一个公分，相对性于传统式“机械设备”生产技术，其性价比高大大提高。

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