什么叫液位传感器

力敏感应器是应用最普遍的一种感应器，它是检验汽体、液态、固态等任何化学物质间相互作用力动能的统称，也包含精确测量高过大气压力的真空压力表及其精确测量小于大气压力的真空计。力敏感应器的类型甚多、传统式的测试方法是借助弹性元件的弯曲和偏移来表明，但它的容积大、沉重、輸出离散系统。伴随着电子信息技术的发展趋势，用半导体器件的压阻效用和较好的延展性，研发出半导体材料力敏感应器，关键有硅压阻式和电容传感器二种，他们具备体型小、重量较轻、敏感度高的优势，因而半导体材料力敏感应器获得广泛运用。当想一块半导体材料在某一晶往上增加地应力时，其电阻会形成一定的转变。这类电导体电阻转变 和地应力中间的内在联系称之为半导体材料压阻效用，运用此效用制作的结构力学量感应器称之为压阻式力敏感应器，它有这两种种类，一类是将半导体材料应变计黏贴在弹性元件上做成的感应器，称之为黏贴型压阻式感应器，另一类是在半导体器件的硅片上放集成电路芯片加工工艺做成的蔓延电阻器，使应变计与硅衬底产生同一总体的感应器，称之为蔓延型压阻式感测器 器。

黏贴型压阻式力敏感应器由四只半导体材料电阻应变片接满足桥方式，用黏合剂贴在弹性元件上组成，它有着很高的应变力灵巧指数，一般为20～200，因而輸出高，輸出敏感度一般为15～0mV/V，但易产生零点漂移与应力松弛，与此同时还存有半导体材料电阻应变片和弹性元件热变形所产生的溫度飘移等危害。蔓延型压阻式力敏感应器大多数选用光伏电池和半导体材料平面工艺做成的。一般以N 型硅为衬底，选用空气氧化、蔓延等加工工艺将硼分子沿给出的晶向蔓延到n 型硅衬底原材料中，产生P 型蔓延层。結果硼蔓延区便产生应变力电阻器，并且用衬底产生一个总体，当它遭受工作压力的作用时，应变力电阻器产生变化，进而使輸出产生变化。压阻式力敏感应器有精确度高、高精度、体型小、重量较轻、输出功率高、构造简易、工作中靠谱、使用寿命长等特性。

电容传感器力敏感应器近期取得了快速发展趋势，这类感应器的主要部位是对工作压力敏感性的电力电容器。力敏电力电容器的容量是由电级总面积和2个电级间的间距决策。当硅脉冲阻尼器两存有压差时，硅脉冲阻尼器造成变形，电力电容器极片间的间隔产生变化，进而造成容量的转变。那样，电容器变化量与压力差相关，因而，就可做为力敏感应器。它与压阻式力敏感应器对比，具备精确度高、溫度稳定性能好、工作压力测量范围大等特性。表5-1 是按原理对力敏感应器开展归类，此章关键详细介绍半导体材料电阻应变片组成的力敏感应器的应用技术。

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