由于SF6气体具有比重大（比空气重5倍），虽然它本身无毒，但往往积聚在地面附近，不易稀释和扩散，是一种窒息性物质，在故障泄漏时容易造成工作人员缺氧，中毒窒息。同时SF6气体在电场中产生电晕放电时，会分解出SOF2（氟化亚硫酸）、S02 F2（氟化硫酸）、S2 Fio（十氟化二硫）、S02（二氧化硫）、S2 F2（氟化硫）、HF（氢氟酸）等近十种气体，这些氟、硫化物气体不但有毒（S2 Fio有剧毒），对人体和呼吸系统有强烈的刺激和毒害作用，而且很多还有腐蚀性，对铝合金、瓷绝缘子、玻璃环氧树脂等绝缘材料，能损坏它们的结构。因此用SF6气体构成的电气设备在安全防护上应采取必要的安全措施，包括：    (1) SF6设备配电装置室和气体实验室应有强力通风设备，其通风装置应有足够大的抽取能力，以达到强力换气的效果；同时风口应设置在室内底部，排风口不应朝向居民住宅或行人。

    (2) SF6气体比重大，如有泄漏，该气体将沉积在底位处，因此通风装置的风口应全部设置在各室贴近地面处，以使SF6气体及其分解气体能得到快速排出。

    (3)主控制室与SF6设备配电装置室之间应采取气密隔离措施，所谓气密隔离，就是在SF6设备配电装置室的门与主控通道的间隔处，为防止SF6与空气的混合气体在正常情况下向主控制室扩散，将其用特殊结构的门密闭隔离开来，以确保电气运行人员的健康；同时SF6配电装置室与其下方电缆层、电缆隧道相通的孔洞都应封堵。SF6配电装置室及下方电缆层隧道的门上，应设置“注意通风”的标志。

    (4) SF6配电装置室、电缆层（隧道）的排风机电源开关应设置在门外（室外入口处）。

    (5)在SF6配电装置室低位区应安装能报警的氧量仪或SF6气体泄漏报警仪，在工作人员人口处也要装设显示器，以监视SF6气体的泄漏。这些仪器应定期试验，并保证完好。