据报道，北方华创微电子技术产品研发的第一台12英寸分子层堆积ALD机器设备取得成功入驻了上海市集成电路芯片研发中心有限责任公司。以参加公布竞投方法为集成电路芯片集成ic生产流水线再添助推。

　　近日，由北方华创属下分公司北方华创微电子技术自主研发的中国第一台12英寸分子层堆积（AtomicLayerDeposiTIon，ALD）机器设备入驻上海市集成电路芯片研发中心。北方华创微电子技术为国内高端装备制造在优秀集成电路芯片集成ic生产流水线的运用再添新星。

　　ALD机器设备是优秀集成电路芯片生产制造技术中不可或缺的塑料薄膜堆积机器设备，ALD加工工艺具备加工工艺温度低、塑料薄膜薄厚操纵精准及阶梯普及率高优势。在集成电路芯片特点图形界限发展趋势到28纳米技术连接点后，ALD加工工艺运用日益普遍。北方华创微电子技术自2014年逐渐合理布局ALD机器设备的开发进度，历经四年，取得成功发布我国第一台运用于集成电路芯片行业的批量生产型单片ALD机器设备——PolarisA630，运用于堆积集成电路芯片元器件中的高相对介电常数和金属材料栅压塑料薄膜原材料，机器设备的主要性能指标做到国际性领先水准。

　　本次，北方华创微电子技术PolarisA630 ALD机器设备以参加公布竞投方法，取得成功入驻上海市集成电路芯片研发中心有限责任公司，与此同时中标底商品也有北方华创微电子技术集成电路芯片AlPad加工工艺的eVictorA1030物理学液相堆积系统软件。到此，北方华创微电子技术已经有硅刻蚀机、片式淬火机器设备、HardmaskPVD、AlPadPVD、片式清洗设备、立柱式炉、ALD等集成电路芯片机器设备运用于28-14纳米技术加工工艺制造，拓展了国内高端装备制造在集成电路芯片优秀工艺的配套设施运用范畴。

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