电容型半导体压力传感器
电容型半导体压力传感器是将硅膜设计成电极,形成电容器结构,在外加压力变化时薄膜变形,电容量相应改变,通过电路转换成一定的电量,由读数即可得到被测压力。
电容型半导体压力传感器比较适合于数十帕的微压范围测量。由于压力值可转换为数字表示,因此特别适用于与微电脑系统进行连接。
电容型半导体压力传感器比较适合于数十帕的微压范围测量。由于压力值可转换为数字表示,因此特别适用于与微电脑系统进行连接。
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