惯性导航体系的基地是惯性丈量单元（IMU）。一个根柢的惯性丈量单元包括三个单安闲度加快度计和三个单安闲度陀螺仪或二个2安闲度陀螺仪。这些加快度计和陀螺仪的输入轴别离沿空间的三个互相笔直的坐标轴方向。这么，惯性丈量单元就可以活络空间恣意方向的线运动或角运动。可是，因为陀螺仪活络的是有关于惯性空间的运动，而需求丈量的是载体有关于某个参照系的相对运动，因而有必要进行坐标改换。此外，加快度计所测加快度输出信号中通常包括重力加快度重量和有害加快度重量，有必要对重力加快度重量进行批改，对有害加快度重量进行抵偿，然后通过积分与核算得到运载体的速度和地址的地舆方位。由此可见，惯性丈量单元中各个惯性活络器材活络的信号需求通过信号改换和信号处理才调改换成可承受的有用信号。

　　跟着微机电体系技能的翻开，由微机电体系加快度计和微机电体系陀螺仪组合而成的微惯性丈量单元（Micro Inertial Measuremerit Unit，简称MIMU）已研发成功。这种微惯性丈量单元具有体积小，重量轻、功耗小、本钱低和牢靠性高级利益。可广泛运用于轿车安全防护、战术兵器制导、自个导航和纤细卫星姿势操控等范畴。

　　一个典型的微惯性丈量组合体系如图4-20所示，该组合体系包括微惯性活络器组合设备、改换电路的组合及微数字信号处理体系三有些。

　　微惯性活络器组合设备由三只真空封装的硅微型陀螺仪和三只密封的微硅加快度计及前放组合而成。其间，微陀螺仪和微加快度计别离设备在边长3.8 cm的正六面体基座的三个互相正交的平面内。每个惯性活络器材的输入轴方向需求通过细心摆放，以确保互相正交。必要时，组合设备中还包括温度活络设备和预热设备，以结束温控。

图1　MIMU体系框图

　　改换电路组合具有处理来自活络设备前放的纤细仿照信号，并能将其改换成数字信号的功用，该电路组吞并将信号煽动电路、驱动电路和温控电路等集成在一块，构成专用芯片。

　　微型数字信号处理体系将制导、导航和操控的有关运算程序和信号处理软件集成在专用的数字信号处理芯片上。

　　1998年，由美国桑地亚国家实验室（Sandia National Lab简称SNL）及柏克利传感器施行器基地（the Berkeley Sensor Actuater Center，简称BSAC）等单位初度用桑地亚模块式，单片微机电体系技能（The Sandia Modular，Monolithic，Micr0-Elec-tr0-Mechanical Systems Technology，简称M3EMS）将一个活络χ、Y平面角速率运动的二维微陀螺和一个活络笔直轴向即Ζ方向角速率的一维微陀螺及三维加快度计以及相应的查验回路彻底集成在一块芯片上，芯片边长1cm，如图2所示。构成了一个集成化的微机电（IMEM）IMU原理样机。该IMU可用于gps（全球定位体系）辅佐的惯性导航体系。

图2　集成微机电IMUJ泉理样机

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