一、微机械及其特征
1.微机械的概念
微型电子机械体系(MEMS)，是指集微型传感器、微型施行器以及信号处理和操控电路、接口电路、通讯和电源于一体的无缺微型机电体系。MEMS技能的方针是经过体系的微型化、集成化来根究具有新原理、新功用的元件和体系。
微型机械在美国常称为微型机电体系MEMS(MicroElectro Mechanical System)，在日本称为微机械（Micromachine）,欧洲则称为微体系（Micro-System）。
微机械按其规范特征可分为纤细机械（1～10mm），微机械（1μm～1mm），纳米机械（1nm～1μm）。微电子机械体系（MEMS）是这些年翻开起来的一种新式多学科穿插的技能，该技能将对将来人类日子将发作改造性的影响。并在将来高科技战役中扮演着无足轻重的人物，是联络国民经济翻开和国家安全确保的要害技能。
2.微机械的特征
(1)体积小，精度高，分量轻
(2)功用安稳，牢靠性高
(3)能耗低，活络度和作业功率高
(4)多功用和智能化
(5)适用于大批量出产，制形本钱低
二、微细加工技能办法
微细加工是指加工规范为微米级计划的加工办法，是MEMS翻开的首要根底。
1.超微细加工
2.光刻加工
3.体刻蚀加工技能
4.面刻蚀加工技能
5.LIGA技能
6.封接技能
7.分子设备技能
三、微细加工技能的翻开与趋势
微细加工技能总的翻开趋势是：
(1)加工办法的多元化
(2)加薪酬料从单纯的硅向着各种纷歧样类型的资料翻开，
(3)跋涉微细加工的经济性
(4)加速微细加工的机理研讨

上一篇：啥是数控机床的设备

下一篇：工程机械液压体系缺陷的防止和确诊