用平晶测量平面度误差时应如何评定？

2017-02-21 08:54分类：机械维修阅读：

可应用光学平晶测量小平面的平面度误差，测量时将平晶贴于被测表面上，若被测表面内凹或外凸，就会出现环形干涉带，如图3-24a所示。可根据环形干涉带数与光波的半波长的乘积来表示平面度误差。

如果干涉条纹不封闭，可使光学平晶与被测表面间略微倾斜一个角度，使两者之间形成一个空气楔，如图3-24b所示。这种按干涉带的弯曲度与相邻两干涉带之间的比值，再乘以半波长即得误差值。不过，按此法评定的误差实际上是用直线度误差代替了平面度误差。

过去用平晶只能测小平面，近年来有了平晶干涉仪，利用这种仪器也可以测量较大的平面。

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