氢气( H2)传感器的工作原理是什么?
氢气 (H2)传感器(见图2-27)的工作原理有以下几种:
(l)半导体气体传感器,采用表面敏感型,传感材料为Pt-Sn07。
(l)半导体气体传感器,采用表面敏感型,传感材料为Pt-Sn07。
(2)非电导型的FET场效应晶体管气体传感器,即Pd-FET,利用Pd吸收H2并扩散达到半导体Si和Pd的界面,减少Pd的功函。非电导型FET场效应晶体管气体传感器体积小,便于集成化,多功能,是具有发展前途的气体传感器。
(3)接触燃烧式气体传感器,H2接触表面催化剂Pt、Pd时非焰燃烧、产热,燃烧热与气体浓度有关。这类传感器的应用面广、体积小、结构简单、稳定性好,缺点是选择性差。
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