半导体气敏传感器的工作原理是什么？

2017-03-10 10:32分类：变频器阅读：

半导体气敏传感器（见图2-8）中的气敏电阻材料是金属氧化物半导体（分P型如氧化锡和N型如氧化钴），合成材料有时还渗入了催化剂，如钯(Pd)、铂(Pt)、银(Ag)等。

(1)敏感材料的功函数<吸附分子的电子亲和力一吸附分子从材料中夺取电子（负离子吸附、氧化型气体），敏感材料的载流子减少--R f，可敏感的气体如02、NO等。

(2)敏感材料的功函数>吸附分子的离解能一吸附分子向材料释放电子（正离子吸附、还原型气体），敏感材料的载流子增加--R l，可敏感的气体如H2、CO等。

(3)为提高气体灵敏度，一般需加热以加快氧化还原反应（到200～450℃），同时加热还能烧掉附着在测控部分上的油雾、尘埃.半导体气敏传感器有以下两种类型及结构。

(1)电阻型半导体气敏传感器。这种半导体气敏传感器由敏感元件、加热器和外壳三部分组成，分为烧结型、薄膜型、厚膜型。

(2)非电阻型半导体传感器。这种半导体气敏传感器又分为MOS二极管气敏器件和MOS场效应晶体管气敏器件两种。半导体气敏传感器主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制，氕敏元件是以化学物质的成分为检测参数的化学敏感元件。

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