MEMS加速度计工作原理介绍
?加速度传感器基本原理
1.1 加速度传感器由MEMS感应器与信号分析集成ic构成。
1.2 MEMS加速度传感器原理
由上电容器、中电容器板(可挪动)、下电容器板等构成;当瞬时速度做到一定值后,中电容器板会挪动,与上、下电容器板的间距便会转变,上、下电容器因而转变。电容器转变跟瞬时速度成比(如下边公式计算),根据对输出电压数据解决后,輸出智能化数据信号。
如图所示:
公式计算:(1) Vs = ( (Cs1-Cs2)/(Cs1 Cs2) ) * Vm?? ;输出电压为电容器工作电压转变一部分;vm(键入工作电压)
(2) 由容的概念可得到电容器的尺寸与偏移中间的关联:
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