一、MEMS感应器的基本原理

MEMS的全名是小型电子器件机械设备系统软件（Micro-ElectroMechanicalSystem），微机电系统就是指可大批量制造的，将小型组织、微型传感器、小型电动执行机构及其信号分析和操纵电源电路、直到插口、通讯和开关电源相当于一体的小型元器件或系统软件。

尽管大多数人针对MEMS或是觉得很生疏，可是实际上MEMS在大家生产制造，乃至日常生活早就无所不在了，智能机，运动健身智能手环、复印机、车辆、无人飞机及其VR/AR头戴式耳机机器设备，一部分初期和基本上全部最近电子设备都使用了MEMS元器件。你能把它了解为运用传统式的半导体材料加工工艺和原材料，用μm技术性在集成ic上生产制造小型机械设备，并将其与相匹配电源电路集变成 一个总体的技术性。因此 它是以半导体设备技术性为基本发展壮大下去的一种现代化的生产技术服务平台。

MEMS感应器是选用微电子技术和微机械加工制造技术性生产制造出去的新式感应器。与传统的的控制器对比，它具备体型小、重量较轻、低成本、功能损耗低、稳定性高、适合大批量化生产制造、便于集成化和完成自动化的特性。与此同时，在μm数量级的特性规格促使它还可以进行一些传统式机械设备感应器所无法完成的作用。

二、MEMS感应器的归类

MEMS感应器的品种多种多样，分类方法也许多。下边是依照原理归类以下：

在其中每一种MEMS感应器又有很多种多样细分化方式 。如加速度传感器，按检验品质的运动方式区划，有角震动式和线震动式加速度传感器等，类型多种多样，普遍的MEMS感应器有液位传感器、瞬时速度感应器、微机械设备手机陀螺仪、惯性力感应器、MEMS硅话筒这些; MEMS感应器的品类多到能够以万为企业，且不一样MEMS中间参数较多，沒有彻底规范的加工工艺。在不一样自然环境中，在不一样自然环境，MEMS感应器的关键技术也是不一样的。
责编；zl

上一篇：轮速传感器的分类以及工作原理解析

下一篇：拉压力传感器的分类及应用解析