MEMS元器件，尤其是MEMS感应器已变成 智能机中的标准配备。苹果iPhone和Research in Motion （RIM）的Blackberry Storm等热销型号，及其三星的Omnia、HTC的Diamond和Nokia都使用了惯性力感应器。但是截至日前一部分手机的型号早已取代终止生产制造了。

与此同时，智能机系统软件日益巨大的生态体系非常大层度上应得益于MEMS感应器。实际上，因为智能机始终线上的互联网技术浏览和传感技术的持续发展趋势，智能机已经迅速变为地球上最大的的传感器网络互联网。

智能机中选用MEMS技术性生产加工的感应器、电动执行机构和电子光学元器件关键以下，如图所示1所显示。

加速度传感器、手机陀螺仪、罗盘指南针：惯性力精确测量模块（IMU）完成定位导航。加速度传感器还能够完成自由落体运动检验、歪斜操纵、计步软件、手式检验、点击/双击鼠标检验、界面旋转等作用。手机陀螺仪还能够完成图象防抖动、增强现实技术等作用。

液位传感器：给予高层建筑及大型商场的精准高宽比数据信息，推动LBS服务项目。

硅微话筒：对比传统的的电容器式话筒，硅微话筒能够选用表贴加工工艺开展生产制造，可以经受很高的回流焊炉溫度，非常容易与CMOS加工工艺以及它声频电源电路相集成化，并具备完善的噪音清除特性与优良的RF及EMI抑止特性。

MEMS微镜：微投影机。

CMOS光学镜头、对焦电动执行机构：数码相机/监控摄像头。

光线激光传感器：运用优点是协助手机上节约显示器功能损耗，提升充电电池的上班时间。全新的光激光传感器包含了更多用途，如光谱仪回应与采样率、集成化贴近检测，及其数字通信系统等。

接近开关、小型显示屏：具备触碰敏感度的显示器。

MEMS震荡器、RF电源开关：蜂窝状无线模块。
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