在我国集成电路芯片关键武器装备国内生产制造的在京获重大突破。新闻记者日前从北京经济技术开发区获知，中芯北京市厂应用国内机器设备生产加工的12寸宣布商品圆晶生产加工提升一千万片次，意味着集成电路芯片国内机器设备在社会化生产中获得完全认证，国内机器设备工艺和市场竞争能力迈上一个新高度。

用头发千分之一精密度“盖房子”

穿上浅粉色防污衣服帽子，戴上口罩胶手套，两脚套上脚套，再进到不锈钢风淋室历经2分钟的洁净气体吹淋后，新闻记者进入了中芯二期生产流水线的净化室。

“这台分块机，必须机械臂精确、稳定地将芯片开展派发，而且不可以有一切划伤和微尘环境污染。”“这台中等速度正离子嵌入机，是硅变为电晶体的一道关键加工工艺。”“这台物质蚀刻机，承担依据设计方案‘吞掉’单晶硅片上不用的一部分”……在净化室专业技术人员的解读下，一台台国内武器装备进入了新闻记者视野。

历经数年的研制及其不断认证、调节，他们现如今与意味着集成电路芯片最智能制造水准的海外“同行业”们站起在一起，肩负起芯片制造的一项项重要工艺流程。

在中芯工作中很多年的老年人儿都清楚还记得，十多年前中芯在京建成投产时，大到生产设备，小到螺帽、小螺丝钉，全是国外进口的。

国内机器设备进集成ic生产流水线，为什么那么难？“如同要在芯片顶盖四十多层高楼大厦，不一样的是每一层楼都必须以发丝千分之一的精准度描绘出来。”中芯国际北方地区总经理张昕说。一颗仅有毫米宽的处理器上，人眼看不见的是其身后巨大的准确度和复杂性——每一个集成ic上面有许多层，而每一层上边的晶体三极管和电源电路假如排列成一根平行线，有数百米长。在这儿，一张张单晶硅片历经光刻技术、掩膜、阳光照射、离子注入、热处理工艺等数百道工艺流程后，才可以变为集成ic。而一切一道工艺流程中只要是发生一点错漏，便会失之千里，差之千里。

恰好是因为加工工艺生产的精度高和复杂性，芯片加工必须机械设备、电子器件、手机软件、操纵、原材料等众多科目的相互配合。集成电路芯片生产流水线刻蚀机、空气氧化机、塑料薄膜、光刻技术、离子注入等机器设备，一直都由欧美国家日极少数企业把握。而现如今，从2008年迄今短短的两年時间，一些国内原材料和大中型武器装备已经逐步进到这条全国各地最领先的集成电路芯片生产流水线。

科研开发减少国际性差别

中国芯片中国制造，是十几年来我国高端制造行业亟需攻破的难点。

“一个地区的普通人家大约100颗集成ic。”北京经济技术开发区管委负责人、我国科学技术重特大重点02重点执行管理方法纪检书记梁胜很多年前就曾用那样一个形容来描述集成电路芯片在我们日常生活随处可见的必要性。如今，100颗这一数据与日俱增。智能机、空气净化机、挪动WiFi、高清数字电视、智能摄像机、声控开关……没了集成ic，全部这种使你日常生活方便的智能产品统统不太可能完成。

小到我们的智慧生活，大到我国网络信息安全工作能力，都和集成ic及其生产制造集成电路芯片的主要武器装备们密切相关。“海外一家大中型武器装备生产商一个季度的年产值，就比中芯一年年产值还需要高得多。”张昕也用一个数据来表述装备制造业在整体集成电路芯片产业发展中的关键影响力。

2008年，我国科学技术重特大重点02重点创立，机构“产学研用”合作开发，由领域的行业龙头中芯等带头，向世界最优秀的40纳米技术和28纳米技术高端芯片连接点科技攻关，并促进武器装备国内生产制造的。北京做为机构带头企业，对新项目承当企业给予资产帮扶。至关重要的，02重点让中芯、北方微电子、七星华创（北方微电子、七星华创后整顿为“北方华创”）、中科信企业等全产业链的上中下游公司走到了一起。

针对国内机器设备的“纯天然试验室”——中芯的生产流水线而言，以往选购进口产品，检修和调节都由有充足工作经验的海外设备公司承揽。为了更好地应用国内机器设备，科技攻关工作组得边干边学，不断监测设备在生产过程中的各类难题。与此同时，为加快武器装备国内生产制造的过程，做为“顾客”的中芯逐渐与好几家国内机器设备商协同产品研发，在机械设备设计、产品研发流程中就充足依据生产阶段的需求量开展，并非故步自封、孤军奋战。

“在研究上，过去的探究式科学研究只必须点射提升，一百次试着有一次取得成功就可以宣布成功了。如今要给予生产技术性，务必一百次都取得成功。”张昕直言国内生产制造的之途的艰苦。

2010年，国内机器设备逐渐进到中芯北京市生产厂家区。从2012年到2016年，应用国内机器设备生产加工的商品数量历经了0片次、2700片次、14万片次、1十万片次、1000万片次的几何式增长。

经济开发区集成电路芯片行业的聚集，变成 了高端制造武器装备国内生产制造的的纯天然驱动力。就拿位于在中芯北京市厂街正对面的“隔壁邻居”北方华创而言，其取得成功开发设计了以离子注入机器设备、有机化学液相堆积机器设备、物理学液相堆积机器设备三大类半导体材料武器装备商品为基本的20余产品，取得成功代替了海外生产商同行业。“机器设备一有哪些难题，机器设备商的技术工程师就能回来，彼此的协作沟通交流彻底零时差。”中芯技术工程师说。

北京经济技术开发区责任人详细介绍，伴随着集成电路芯片国内机器设备在社会化生产中获得完全认证，在我国集成电路芯片生产制造产业链与海外最领先水准的差别减少了最少五年。

国内生产制造的可助成本费降二成

提升国际性垄断性、提高独立自主自主创新能力，产生的是名副其实的经济效益。张昕表露，尽管现阶段机器设备国内生产制造的仍处在前期，必须付出大量的人力资源、资金、物力资源，但由于国内机器设备很多交付使用，将促使在我国芯片制造的机器设备产品成本减少25%上下。

业界权威专家表露，集成电路芯片技术性40很多年来一直依照颠覆性创新规律性发展趋势，即每过18个月技术性升级一代。每一代技术性的升级可使集成ic处理速度提升1倍，电源电路特性提升40%。

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