一、概述
精细加工是指加工零件的标准标准精度在0.1-1μm，加工外表粗糙度为Ra 0.02～0.1μm之间的加工办法。
超精细加工是指被加工零件的标准精度高于0.1μm，外表粗糙度小于Ra＜0.025μm，以及所用机床定位精度的分辩率和重复性高于0.01μm的加工技能，也称之为亚微米级加工技能，且正在向纳米级加工技能翻开。
超精细加工技能首要包含：超精细加工的机理研讨，超精细加工的设备制作技能研讨，超精细加工东西及刃磨技能研讨，超精细丈量技能和过失抵偿技能研讨，超精细加作业业环境条件研讨。
1.翻开精细和超精细加工技能的首要性
跟着科学技能的活络翻开和公民日子以及国防缔造的需求，各国都大力翻开制作业，格外是在精细与超精细加工领域竞赛更为剧烈，由于它在顶级商品和现代化兵器的制作中占有十分首要的方位，导弹的射中精度，首要取决于惯性外表的精度。制作外表需选用超精细加工技能和相应的设备。
中国精细与超精细加工技能还很落后，许多的精细商品还需进口，精细和超精细加工如今包含三个领域：
（1）超精亲近削，如金刚石刀具切削，可加工各种镜面，它成功的处理了高精度陀螺仪，激光反射镜和某些大型反射镜的加工。
（2）精细和超精细研磨，例如处理大计划集成电路基片的加工和高精度硬磁盘面等。
（3）精细特种加工，如电子束、离子束加工等。
2.精细与超精细加工技能的现状
3.精细与超精细加工技能的打翻开望
超精细加工技能翻开趋势是：向更高精度、更高功率方向翻开；向大型化、微型化方向翻开；向加工查看一体化方向翻开；机床向多功用模块化方向翻开；不断议论适宜于超精细加工的新原理、新办法、新资料。21世纪初十年将是超精细加工技能抵达和完毕纳米加工技能的要害十年
超精细加工的首要翻开趋势体现为
（1）向高精度方向翻开，由如今的亚微米级向纳米级进军，终究抵达“移动原子”的意图,完毕原子级加工。
（2）向大型化方向翻开，研发各类大型的超精细加工设备，以满意航空、航天、通讯和军事的需求。
（3）向微型化方向翻开，以习气飞速翻开的微机械、集成电路的需求。
（4）超精构造、多功用、光机电一体化、加工查看一体化等方向翻开，广泛的选用抢先的查看监控技能实时过失抵偿。
（5）不断提出一些新技能和复合加工技能，使加工的资料的计划不断拓展。
超精细加工技能如今研讨首要方向有
（1）超精细加工的加工机理。微细加工机理研讨；微观外表无缺性研讨；在超精细领域内的对各种资料（包含被加薪酬料和刀具磨具资料）的加工进程、景象、功用以及技能参数进行提示性研讨。
（2）超精细加工设备制作技能。纳米级超精细车床工程化研讨；超精细磨床研讨；要害根底件，如轴系、导轨副、数控伺服体系、微位移设备等研讨；超精细机床总成制作技能研讨。
（3）超精细加工刀具、磨具及刃磨技能。金刚石刀具及刃磨技能、金刚石微粉砂轮及其修整技能研讨。
（4）精细丈量技能及过失抵偿技能。纳米级基准与传递体系树立；纳米级丈量仪器研讨；空间过失抵偿技能研讨；丈量集成技能研讨。
（5）超精细加作业业环境条件。超精细丈量、控温体系、消振技能研讨；超精细净化设备，新式特种排屑设备及有关技能的研讨。
二、超精亲近削加工办法
1.超精细加工刀具
人工金刚石刀具具有的显着特征：“高速切削”“硬态加工”“以车代磨”“干式切削”该刀具获国家科学大会奖。是加工各种非金属资料及各种有色金属资料的最好刀具。
超精亲近削加工，刀具应具有如下功用：
1.极高的硬度、耐磨性和弹性模量，以确保刀具满意的寿数和标准经费用。
2.刃口能磨得极点锋锐，刃口半径 值极小，完毕菲薄切削。
3.刃口无缺点，切削时刃形将复印在加工外表上，能得到超润滑外表。
4.和工件资料的抗粘接性好、化学亲和性小、抵触系数低，能得到极好的加工外表无缺性。
天然金刚石具有硬度高、耐磨性和强度高、导热功用好，而且与有色金属抵触系数低，能磨出极锋锐的刀刃等一系列的长处，因此是如今最抱负的超精亲近削加工的刀具资料。
天然单晶金刚石大都为8面体或菱形12面体，很少数的6面体，淡色通明，无杂质，无缺点。一般运用大颗粒（0.5～1.5克拉，1克拉=0.2g）。
人工金刚石是选用超高压（500MPa 以上）高温（1300℃ ）下由子晶成长而成。在条件容许的状况下，能够生成大颗粒单晶金刚石，该金刚石具有较高的硬度、杰出的导热性、和有色金属抵触系数小等长处。
2.超精细磨削加工
精细和超精细磨料加工使运用细粒度的磨粒和微粉对黑色金属、脆性资料等进行加工，得到高加工精度和地外表粗糙度值。关于有色金属常选用超精亲近削加工。
（1）精细和超精细磨削加工办法分类
精细和超精细砂轮磨削、精细和超精细砂带磨削、游离磨粒磨削。
（2）精细磨削机理
精细磨削是指加工精度为1-0.1μm、外表粗糙度抵达Ra0.2-0.025μm的磨削办法。又称低粗糙度磨削。
精细磨削机理：首要是依托精细修整砂轮，使磨粒具有微刃性和等高性，磨削后，被加工外表留下许多极微细的磨削痕迹，残留高度极小，加上无火化磨削期间的效果，可取得高精度和地外表粗糙度外表。精细磨削加工首要体现为，微刃的微切削效果，通过微细修整砂轮，是微细磨粒破碎并发作微刃，然后构成低的外表粗糙度。微刃的等高切削效果，砂轮经微细修整后，散布在砂轮表层的一同深度的微刃数量、等高性好，然后使加工外表的粗糙度极小。微刃的滑挤、抵触、抛光效果，刚开端切削时，微刃较锋锐，切削效果强，跟着切削进程的持续，磨粒逐步呈现钝化，但一同，等高性得到改进，此刻，切削效果削弱，滑挤、抵触、抛光效果加强，然后使加工外表凸峰辗平，下降外外表粗糙度。
（3）密磨削砂轮挑选
精细磨削砂轮挑选首要思考简略发作和坚持微刃性和等高性微准则。
磨削刚和铸铁时，选用刚玉磨料较好，由于刚玉磨料刃性较高，能坚持微刃性和等高性。而碳化硅磨料耐性差，颗粒呈针片状，很难修整出等高性好的微刃。
砂轮粒度的可挑选粗粒度和细粒度两类，粗粒度要细修整，微刃的切削效果是首要的，细粒度砂轮通过精细修整后，半钝态的微刃在恰当的压力下与工件外表的抵触抛光效果强，可得到高的外表质量和砂轮寿数。
联络剂精细磨削砂轮的挑选，以树脂为好，参与恰当的石墨，可行进抵触抛光效果。
（4）精细磨削砂轮的修整
（5）精细精细磨削对机床、环境恳求
四、超精细加工的机床设备
1．精细主轴部件
精细主轴部件是超精细机床的圆度基准，也是确保机床加工精度的基地。主轴恳求抵达极高的反转精度，其要害在于所用的精细轴承。前期的精细主轴选用超精细级的翻滚轴承，如瑞士Shaublin精细车床，选用翻滚轴承，其加工精度可达ban，外表粗糙度R,0．04-0．02pan。制作如此高精度的翻滚轴承主轴是极为不易的，期望更进一步行进主轴精度更是艰难。如今，超精细机床的主轴广泛选用液体静压轴承和空气静压轴承。
2．精细导轨和床身
床身是机床的根底部件，应具有抗振衰减才干强、热胀大系数低、标准安稳性好的恳求。如今，超精细机床床身多选用人工花岗岩资料制作。人工花岗岩是由花岗岩碎粒用树脂粘结而成，它不只具有花岗岩资料的标准安稳性好、热胀大系数低、硬度高、耐磨且不生锈的特征，又可铸构成形，打败了天然花岗岩有吸湿性的短少，并加强了对振荡的衰减才干。超精细机床导轨部件恳求有极高的直线运动精度，不能有匍匐，导轨巧合面不能有磨损，因此液体静压导轨、气浮导轨和空气静压导轨，均具有运动平稳、无匍匐、抵触因数挨近于零的特征，在超精细机床中得到广泛的运用。
3．微量进给设备
高精度微量进给设备是超精细机床的一个要害设备，它对完毕超薄切削、高精度标准加工和完毕在线过失抵偿有着十分首要的效果。如今，高精度微量进给设备分辩率已可抵达0．001—O．01／xm。
在超精细加工中，恳求微量进给设备满意如下的恳求：①精微进给与粗进给分隔，早年进微位移的精度、分辩率和安稳性；②运动有些有必要是低抵触和高安稳性，以便完毕很高的重复精度；③末级传动元件有必要有很高的刚度，即夹固刀具处有必要是高刚度的；④技能性好，简略制作；⑤应能完毕微进给的主动操控，动态功用好。
微量进给设备有机械或液压传动式，弹性变办法、热变办法、流体膜变办法、磁致弹性式、压电陶瓷式等多种构造办法。
五、超精细加工的支持环境
为了习气精细和超精细加工精度的的恳求，对精细与超精细加工的支持环境有必要进行严峻操控，精细与超精细环境操控包含：空气环境、热环境、振荡环境、电磁环境等。
1．洁净的空气环境
2．安稳的温度环境
3.较好的抗振荡搅扰环境
1．较好的抗振荡搅扰环境
为确保精细和超精细加工的正常进行，有必要选用有用办法以消除振荡搅扰，其路径包含如下两个方面：
(1)防振；(2)隔振
3.其它环境

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