电子束加工是在真空条件下，运用电流加热阴极发射电子束，带负电荷的电子束高速飞向阳极，途中经加快极加快，并经过电磁透镜调集，使能量密度十分会集，能够把一千瓦或更高的功率会集到直径为5～10μm的斑驳上，取得高达109W/cm2摆布的功率密度，如图所示。如此高的功率密度，可使任何资料被冲击有些的温度，在百万分之一秒时刻内添加到摄氏几千度以上，热量还来不及向周围涣散，就已把有些资料瞬时熔化、气化直到蒸腾去掉。跟着孔不断变深，电子束照耀点亦越深化。因为孔的内侧壁对电子束发作"壁调集"，所以加工点或许抵达很深的深度，然后可打出很细很深的微孔。

　　电子束加东西有以下的特征：
　　1）能量密度高 电子束调集点计划小，能量密度高，适合于加工精微深孔和窄缝等。且加工速度快，功率高。
　　2）工件变形小 电子束加工是一种热加工，首要靠瞬时蒸腾，工件很少发作应力和变形，并且不存在东西损耗。适合于加工脆性、耐性、导体、半导体、非导体以及热敏性资料。
　　3）加工点上化学纯度高 因为悉数电子束加工是在真空度1.33×10－2～1.33×10－4 Pa的真空室内进行的，所以熔化时能够避免因为空气的氧化作用所发作的杂质缺点。适合于加工易氧化的金属及合金资料，格外是恳求纯度极高的半导体资料。
　　4）可控性好 电子束的强度和方位均可由电、磁的办法直接操控，便于结束主动化加工。

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